精確捕捉超高精度微觀3D形貌的能力

AM-7000系列 白光干涉測厚儀可用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級別測量，以“面"的形式獲取表面3D形貌

通過專用軟件對3D形貌進行處理和分析，最高RMS重復性可達0.002nm

超高速極大提高測量效率，可用于自動化產(chǎn)線

AM-7000搭配大量程高速納米壓電陶瓷器件，最高掃描速度400μm/秒，3200Hz加以業(yè)內(nèi)SST+GAT算法，可瞬間完成最高500萬點云采集

大視野高精度大視野、大范圍測量

白光干涉原理通過光干涉相位計量

任意放大倍率下均可獲得<1nm的檢測精度

豐富的測量工具從容應對各種行業(yè)應用

涵蓋市場上通用的國際標準測量工具，高效率輕松分析3D數(shù)據(jù)

精確捕捉超高精度

微觀3D形貌的能力

AM-7000系列 白光干涉測厚儀可用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級別測量，以“面"的形式獲取表面3D形貌

通過專用軟件對3D形貌進行處理和分析，最高RMS重復性可達0.002nm

相移干涉法使用特定波長范圍內(nèi)的光源來確 認目標面反射光和參考面反射光之間的光干 涉。目標面的反射光和參考面的反射光之間 的相位為0,距離參考面的高度為h,則

O=4h/λ。借助相位測量法，使用壓電陶瓷移 動測量面的光路，計算以1/4波長移動光路時 獲得的多個干涉條紋的相位差(O),然后將其 轉 換 為 高 度h。